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廢氣處理目前使用的主要有以下五種方法： （1）活性炭吸附 （2）低溫等離子 （3）光催化氧化 （4）燃燒法，包括催化燃燒、焚燒爐及RTO、RCO廢氣焚燒。
吸收法是將排出的有機廢氣與吸收劑接觸，或采取噴淋，或采取逆流在吸收塔內完成，所用的吸收液有柴油、DOP等高沸點溶劑，也可用添加助溶劑、凝聚劑、活性 劑的水，它適合中高濃度（2000mg/m3以上）和中小排風量（10000m3/h以下）的治理，對低濃度、大風量有機廢氣治理效率低，Z大的問題是吸收液的后處理麻煩，并會帶來二次污染和二次治理的問題。
活性炭吸附是應用活性炭異常發達的孔隙結構對有機廢氣進行吸附凈化，尤其對低濃度有機廢氣的吸附，是Z有效的方法，對有機烴類的吸附可達ppm級，吸附后的有機物用水蒸氣進行脫附，冷凝回收。它Z適合于處理的是高濃度（1500 mg/m3以下）單組份有機物的回收，對于多組份及易溶于水的溶劑有后續精餾的問題（如回收的多組份有機溶劑混合不能直接使用）。根據處理要求的不同，可做到尾氣達標排放。一般情況下可在一年內回收投資。
焚燒法包括熱力焚燒和催化燃燒兩種，熱力焚燒是用燃料（油或氣）助燃于600℃以上將有機物燒掉。該方法適合于高濃度并穩定排放的有機廢氣治理，如果濃度排放不穩定，有時會熄火。排放的濃度低時耗能。
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